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Ag遷移致集成電路輸出異常失效分析

2015-01-20  瀏覽量:3463

1.案例背景

     某功能模塊在用戶端出現(xiàn)功能失效,經(jīng)返廠檢修,發(fā)現(xiàn)該模塊上的一片IC輸出異常,經(jīng)更換IC后,功能模塊恢復(fù)正常。

2.分析方法簡述

     對樣品進(jìn)行外觀觀察,未發(fā)現(xiàn)明顯異常。
 
 
     經(jīng)X-RAY無損檢測,未發(fā)現(xiàn)明顯異常。
 
 
     通過C-SAM掃描發(fā)現(xiàn)了IC內(nèi)部存在分層現(xiàn)象。
 
 
圖5.NG樣品C-SAM圖片
 
     通過IV曲線測試,發(fā)現(xiàn)引腳間存在漏電通道。
 
 
圖6.NG樣品IV曲線圖
 
     DE-CAP后,利用SEM/EDS進(jìn)行分析,確認(rèn)了引腳間存在銀遷移問題。

 

 

表1.開封后的NG樣品內(nèi)部EDS測試結(jié)果(Wt%)

 

 

3.結(jié)論

 

     IC內(nèi)部存在分層,由于水汽的入侵,加上集成電路各引腳之間存在電位差,導(dǎo)致了引腳間的銀遷移,從而在引腳間形成微導(dǎo)通電路,致IC輸出異常。

 

4.參考標(biāo)準(zhǔn)

 

     GJB 548B-2005 微電子器件失效分析程序-方法5003。

     IPC-TM-650 2.1.1-2004手動微切片法。

     GB/T 17359-2012 電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則。

 

作者簡介:

 

     MTT(美信檢測)是一家從事材料及零部件品質(zhì)檢驗、鑒定、認(rèn)證及失效分析服務(wù)的第三方實驗室,網(wǎng)址:www.baoxiande.cn,聯(lián)系電話:400-850-4050。轉(zhuǎn)載請注明出處,如有商業(yè)用途請聯(lián)系美信檢測。

 

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