表面形貌觀察
2015-08-21 瀏覽量：4870
背景：
材料表面的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著它的許多技術(shù)性能和使用功能，近年來隨著科技的發(fā)展，對各種材料表面精度也提出了越來越高得要求。目前，納米科技成為研究熱點，集成電路工藝加工的特征尺度進(jìn)入亞微米，而光學(xué)顯微鏡已經(jīng)滿足不了觀察更加微小物體的需求，這給科研人員提出了納米級表面的測量和表征的問題。
掃描電子顯微鏡（SEM）的出現(xiàn)解決了這一問題，掃描電子顯微鏡是目前常見的用于表面形貌觀察的失效分析技術(shù)。具有高分辨率，較高的放大倍數(shù)；景深效果好，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；試樣制備簡單；配有X射線能譜儀裝置，可同時進(jìn)行形貌觀察和微區(qū)成分分析。通過掃描電子顯微鏡觀察材料表面形貌，為研究樣品形態(tài)結(jié)構(gòu)提供了便利，有助于監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量，改善工藝。
定義：
形貌觀察的主要內(nèi)容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度、及顆粒度的分布、物相的結(jié)構(gòu)等
應(yīng)用范圍：
材料、電子、冶金、航空、汽車、地學(xué)、醫(yī)學(xué)、機(jī)械加工、半導(dǎo)體制造、陶瓷品等。
表面形貌圖片：
金屬粉末顆粒粘結(jié)狀態(tài)
金屬材料斷口形貌特征
印制板焊盤鎳腐蝕形態(tài)
晶須形貌觀察
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